Есть ли различия между критическим размером/размером и разрешением для оптического объектива?

Я думаю, что эта формула, вероятно, говорит о том, что для определения разрешения можно использовать несколько разных критериев, например , критерий Рэлея дает$k_1=0.61$, и что все они имеют разные значения$k_1$. Формула говорит о том, что независимо от того, какой критерий вы используете, зависимость от длины волны и числовой апертуры всегда одинакова: пропорциональна первому и обратно пропорциональна второму.

Учитывая контекст, неудивительно, если$k_1$были полуэмпирической константой, которая, как оказалось, представляет собой минимальный размер элемента, легко достигаемый в современной технологии фотолитографии, т. е . учитывает не только дифракционный предел, но и процесс травления.

Разрешение — понятие расплывчатое, и достигаемое разрешение сильно зависит от соотношения сигнал/шум. Другой критерий, используемый для гауссовых лучей, измеряет разрешение и числовую апертуру по$1/e^2$диаметры функции рассеяния точки как в непреобразованном пространстве, так и в пространстве Фурье соответственно. По этим критериям формула$CD = 2 \lambda / (\pi\,NA)$и$k_1 = 2/\pi$, что достаточно близко к значению критерия Рэлея. Я обсуждаю эти критерии больше в моем ответе здесь .